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芯片周邊曝光的UV-LED光源
適用于g線、i線抗蝕劑的芯片周邊曝光用的UV-LED光源。
不僅可以安裝在新裝置上，而且從當前使用的UV燈光源更換也很方便。
通過搭載UV-LED，可降低耗電量、降低環境負荷、延長發光源壽命，并且不需要機械相關的消耗部件，從而大大降低客戶的運行成本
| 紫外線発光源 | 紫外發光二極管 |
| 紫外線発光源壽命 | 20000小時（推定壽命驅動電流最大時）※紫外線強度為初期50%以上的點燈累計時間 |
| 照射ON/OFF功能 | UV-LED的ON/OFF控制（通過遠程及手動控制點亮/熄滅） |
| 光量調整機能 | UV-LED的電流調整光量調整范圍為20～100% |
| 外裝材質 | 不銹鋼 |
| 外形寸法 | 150毫米×200毫米×192毫米 |
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